发明授权
- 专利标题： Improved method for forming metal contacts
- 专利标题（中）： 用于金属接触的改进方法
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申请号： EP11185113.5申请日： 2011-10-13
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公开(公告)号： EP2442367B1公开(公告)日： 2014-07-16
- 发明人: Reddington, Erik , Sutter, Thomas C. , Bu, Lujia , Perras, Alexandra , Habas, Susan E. , Curtis, Calvin J. , Miedaner, Alexander , Ginley, David S. , Van Hest, Marinus Franciscus Antonius Maria
- 申请人： Rohm and Haas Electronic Materials LLC , Alliance for Sustainable Energy, LLC
- 申请人地址： 455 Forest Street Marlborough, MA 01752 US
- 专利权人： Rohm and Haas Electronic Materials LLC,Alliance for Sustainable Energy, LLC
- 当前专利权人： Rohm and Haas Electronic Materials LLC,Alliance for Sustainable Energy, LLC
- 当前专利权人地址： 455 Forest Street Marlborough, MA 01752 US
- 代理机构： Buckley, Guy Julian
- 优先权： US393295P 20101014
- 主分类号： H01L31/0224
- IPC分类号： H01L31/0224 ; H01L31/18
公开/授权文献
- EP2442367A3 Improved method for forming metal contacts 公开/授权日：2013-05-22
信息查询
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