发明授权
- 专利标题： CHARGED PARTICLE DETECTORS
- 专利标题（中）： 带电粒子检测器
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申请号： EP10726403.8申请日： 2010-06-21
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公开(公告)号： EP2446459B1公开(公告)日： 2015-04-01
- 发明人: HILL, Raymond , NOTTE IV, John A. , MCVEY, Shawn
- 申请人： Carl Zeiss Microscopy, LLC
- 申请人地址： One Zeiss Drive Thornwood, NY 10594 US
- 专利权人： Carl Zeiss Microscopy, LLC
- 当前专利权人： Carl Zeiss Microscopy, LLC
- 当前专利权人地址： One Zeiss Drive Thornwood, NY 10594 US
- 代理机构： Carl Zeiss AG - Patentabteilung
- 优先权： US219826P 20090624
- 国际公布： WO2011005469 20110113
- 主分类号： H01J37/244
- IPC分类号： H01J37/244
公开/授权文献
- EP2446459A2 CHARGED PARTICLE DETECTORS 公开/授权日：2012-05-02
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