发明公开
- 专利标题： ION IMPLANTATION SYSTEM AND METHOD
- 专利标题（中）： 离子注入系统和方法
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申请号： EP10828832申请日： 2010-10-25
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公开(公告)号： EP2494581A4公开(公告)日： 2015-03-18
- 发明人: JONES EDWARD E , YEDAVE SHARAD N , TANG YING , CHAMBERS BARRY LEWIS , KAIM ROBERT , SWEENEY JOSEPH D , BYL OLEG , ZOU PENG
- 申请人： ADVANCED TECH MATERIALS
- 专利权人： ADVANCED TECH MATERIALS
- 当前专利权人： ADVANCED TECH MATERIALS
- 优先权： US35851410 2010-06-25; US34920210 2010-05-27; US25509709 2009-10-27
- 主分类号： H01J37/317
- IPC分类号： H01J37/317 ; H01J37/08 ; H01L21/265
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