发明授权
- 专利标题： VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR STRUKTURIERUNG EINER AUF EINEM SUBSTRAT ANGEORDNETEN LAGE
- 专利标题（英）： Method and device for structuring a layer arranged on a substrate
- 专利标题（中）： 方法和装置结构AN在基底上配置目的地
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申请号： EP10801586.8申请日： 2010-12-29
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公开(公告)号： EP2499886B1公开(公告)日： 2014-04-16
- 发明人: ULLAND, Holger, Albert
- 申请人： O-Flexx Technologies GmbH
- 申请人地址： Auf der Höhe 49 47059 Duisburg DE
- 专利权人： O-Flexx Technologies GmbH
- 当前专利权人： O-Flexx Technologies GmbH
- 当前专利权人地址： Auf der Höhe 49 47059 Duisburg DE
- 代理机构： Kohlmann, Kai
- 优先权： DE102010005340 20100121
- 国际公布： WO2011088955 20110728
- 主分类号： H05K3/04
- IPC分类号： H05K3/04 ; B23C1/04 ; B44B3/02 ; B23C3/30 ; H01L35/32 ; H01L35/34
公开/授权文献
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