发明授权
- 专利标题： DETECTOR DEVICE, INSPECTION APPARATUS AND METHOD
- 专利标题（中）： 探测器，检查组和方法
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申请号： EP11711975.0申请日： 2011-03-11
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公开(公告)号： EP2545362B1公开(公告)日： 2014-12-17
- 发明人: BASU, Arnab , RADLEY, Ian , ROBINSON, Max
- 申请人： Kromek Limited
- 申请人地址： NetPark Thomas Wright Way Sedgefield, Durham TS21 3FD GB
- 专利权人： Kromek Limited
- 当前专利权人： Kromek Limited
- 当前专利权人地址： NetPark Thomas Wright Way Sedgefield, Durham TS21 3FD GB
- 代理机构： Wilson, Peter
- 优先权： GB201004121 20100312
- 国际公布： WO2011110862 20110915
- 主分类号： G01N23/087
- IPC分类号： G01N23/087 ; G01T1/16
公开/授权文献
- EP2545362A1 DETECTOR DEVICE, INSPECTION APPARATUS AND METHOD 公开/授权日：2013-01-16
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