- 专利标题： PROCEDE DE LITHOGRAPHIE A DEDOUBLEMENT DE PAS
- 专利标题（英）： LITHOGRAPHIC PITCH DOUBLING PROCESS
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申请号： EP11721525.1申请日： 2011-05-25
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公开(公告)号： EP2577395B1公开(公告)日： 2019-08-28
- 发明人: PAIN, Laurent , BELLEDENT, Jérôme , BARNOLA, Sébastien
- 申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 申请人地址： 25, Rue Leblanc Bâtiment "Le Ponant D" 75015 Paris FR
- 专利权人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人地址： 25, Rue Leblanc Bâtiment "Le Ponant D" 75015 Paris FR
- 代理机构： Bréda, Jean-Marc
- 优先权： FR1002306 20100601
- 国际公布： WO2011151243 20111208
- 主分类号： G03F7/00
- IPC分类号： G03F7/00 ; H01L21/033 ; H01L21/768 ; H01L21/311 ; B81C1/00
公开/授权文献
- EP2577395A1 PROCEDE DE LITHOGRAPHIE A DEDOUBLEMENT DE PAS 公开/授权日：2013-04-10
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