Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur interferometrischen Vermessung eines Objekts, umfassend eine Strahlungsquelle zur Erzeugung eines Ausgangsstrahls, eine Strahlteilervorrichtung zur Aufteilung des Ausgangsstrahls in einen Mess- und einen ersten Referenzstrahl, eine optische Überlagerungsvorrichtung und einen ersten Detektor, wobei Überlagerungsvorrichtung und erster Detektor derart zusammenwirkend ausgestaltet sind, dass der von dem Objekt zumindest teilweise reflektierte Messstrahl und der erste Referenzstrahl auf mindestens einer Detektorfläche des ersten Detektors überlagert sind. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlteilervorrichtung ausgebildet ist zur Aufteilung des Ausgangsstrahls in einen Messstrahl, einen ersten Referenzstrahl und mindestens einen zweiten Referenzstrahl, dass die Vorrichtung mindestens einen zweiten Detektor aufweist und Überlagerungsvorrichtung und zweiter Detektor derart zusammenwirkend ausgebildet sind, dass der von dem Objekt zumindest teilweise gestreute Messstrahl und der zweite Referenzstrahl auf mindestens einer Detektorfläche des zweiten Detektors überlagert sind. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur interferometrischen Vermessung eines Objekts.