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1.发明公开Optisches Interferometer und Vibrometer mit solch einem optischen Interferometer 有权Optisches干涉仪和振动计mit solch einem optischen干涉仪
公开(公告)号：EP2808644A1
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：EP14169950.4
申请日：2014-05-27
申请人： Polytec GmbH
CPC分类号： G01B9/02023 , G01B9/02002 , G01B9/02028 , G01B9/02029 , G01B9/02051 , G01B2290/45 , G01H9/00
摘要： Die Erfindung betrifft ein optisches Interferometer mit einem Ausgangsstrahl-Strahleingang zum Einkoppeln eines Ausgangsstrahls und einer Strahlteilervorrichtung zur Aufteilung des Ausgangsstrahls in zumindest einen ersten Teilstrahl und einen zweiten Teilstrahl, wobei das Interferometer als heterodynes Interfe-rometer ausgebildet ist, indem zumindest ein optischer Frequenzschieber im Strahlengang des Interferometers angeordnet ist und
wobei das Interferometer ein oder mehrere optische Wellenleiterelemente aufweist, mittels derer zumindest zwischen Ausgangsstrahl-Strahleingang, Strahlteilervorrichtung und Frequenzschieber optische Wellenleiter ausgebildet sind. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass der Frequenzschieber im Strahlengang des ersten oder des zweiten Teilstrahls angeordnet ist.摘要翻译： 一种光学干涉仪，包括用于耦合输出光束的输出光束输入和用于将输出光束分成至少一个第一子光束和一个第二子光束的分束器装置，该干涉仪被实施为外差 干涉仪，其至少一个光学移频器布置在干涉仪的光束路径中，并且所述干涉仪至少包括一个或多个光波导元件，至少在所述输出光束输入，分束器装置 和变频器。 移频器布置在第一或第二子光束的光束路径中。
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2.发明授权
公开(公告)号：EP2589924B1
公开(公告)日：2016-04-20
申请号：EP12188513.1
申请日：2012-10-15
申请人： Polytec GmbH
发明人： Schüssler, Matthias , Rembe, Christian , Dräbenstedt, Alexander , Kowarsch, Robert , Ochs, Wanja
IPC分类号： G01H9/00
CPC分类号： G01B9/02022 , G01B9/02002 , G01B9/02028 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01H9/00
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公开(公告)号：EP2682709A1
公开(公告)日：2014-01-08
申请号：EP13173378.4
申请日：2013-06-24
申请人： Polytec GmbH
发明人： Dräbenstedt, Alexander , Boedecker, Sebastian , Rembe, Christian , Schüssler, Matthias , Xu, Thian-Hua
IPC分类号： G01B9/02
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur interferometrischen Vermessung eines Objekts, umfassend eine Strahlungsquelle zur Erzeugung eines Ausgangsstrahls, eine Strahlteilervorrichtung zur Aufteilung des Ausgangsstrahls in einen Mess- und einen Referenzstrahl, eine optische Überlagerungsvorrichtung und einen ersten Detektor, wobei Überlagerungsvorrichtung und erster Detektor derart zusammenwirkend ausgestaltet sind, dass der von dem Objekt zumindest teilweise reflektierte Messstrahl als Empfangsstrahl und der Referenzstrahl auf mindestens einer Detektorfläche des ersten Detektors zumindest teilweise überlagert sind
Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlteilervorrichtung ausgebildet ist zur Aufteilung des Ausgangsstrahls in einen Messstrahl, einen ersten Referenzteilstrahl und mindestens einen zweiten Referenzteilstrahl und zur Aufteilung des Empfangsstrahls in einen ersten Empfangsteilstrahl und mindestens einen zweiten Empfangsteilstrahl, dass die Vorrichtung mindestens einen zweiten Detektor aufweist und derart ausgebildet ist, dass der erste Empfangsstrahl mit dem ersten Referenzteilstrahl auf einer Detektionsfläche des ersten Detektors und der zweiten Empfangsteilstrahl mit dem zweiten Referenzteilstrahl auf einer Detektionsfläche des zweiten Detektors überlagert sind, jeweils unter Ausbildung einer optischen Interferenz, und dass die Vorrichtung eine Auswerteeinheit zur Auswertung der Messsignale des ersten und des zweiten Detektors aufweist, welche ausgebildet ist, die Messsignale der beiden Detektoren nach dem Prinzip der Empfangs-Diversität auszuwerten.摘要翻译： 分束装置（2,7f）将由辐射源（1）产生的输出光束分成测量光束（4）和参考光束部分（5.1,5.2），并将接收的反射测量光束（4b）分成部分光束（4.1b ，4.2B）。 光学叠加装置将反射的测量光束和参考光束以及部分光束（4.1b）和参考光束部分（5.1）叠加在形成光学干涉的检测器（6,13）的检测器表面上。 评估单元根据接收分集原理对检测器的测量信号进行评估。 包括用于物体干涉测量的方法的独立权利要求。
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4.发明授权Optisches Interferometer und Vibrometer mit solch einem optischen Interferometer 有权带有这种光学干涉仪的光学干涉仪和测振仪
公开(公告)号：EP2808644B1
公开(公告)日：2017-11-01
申请号：EP14169950.4
申请日：2014-05-27
申请人： Polytec GmbH
CPC分类号： G01B9/02023 , G01B9/02002 , G01B9/02028 , G01B9/02029 , G01B9/02051 , G01B2290/45 , G01H9/00
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公开(公告)号：EP2589924A1
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：EP12188513.1
申请日：2012-10-15
申请人： Polytec GmbH
发明人： Schüssler, Matthias , Rembe, Christian , Dräbenstedt, Alexander , Kowarsch, Robert , Ochs, Wanja
CPC分类号： G01B9/02022 , G01B9/02002 , G01B9/02028 , G01B2290/45 , G01B2290/70 , G01H9/00
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur interferometrischen Vermessung eines Objekts, umfassend eine Strahlungsquelle zur Erzeugung eines Ausgangsstrahls, eine Strahlteilervorrichtung zur Aufteilung des Ausgangsstrahls in einen Mess- und einen ersten Referenzstrahl, eine optische Überlagerungsvorrichtung und einen ersten Detektor, wobei Überlagerungsvorrichtung und erster Detektor derart zusammenwirkend ausgestaltet sind, dass der von dem Objekt zumindest teilweise reflektierte Messstrahl und der erste Referenzstrahl auf mindestens einer Detektorfläche des ersten Detektors überlagert sind. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlteilervorrichtung ausgebildet ist zur Aufteilung des Ausgangsstrahls in einen Messstrahl, einen ersten Referenzstrahl und mindestens einen zweiten Referenzstrahl, dass die Vorrichtung mindestens einen zweiten Detektor aufweist und Überlagerungsvorrichtung und zweiter Detektor derart zusammenwirkend ausgebildet sind, dass der von dem Objekt zumindest teilweise gestreute Messstrahl und der zweite Referenzstrahl auf mindestens einer Detektorfläche des zweiten Detektors überlagert sind. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur interferometrischen Vermessung eines Objekts.
摘要翻译： 该装置具有用于产生输出光束（2）的辐射源（1），即激光器。 分束器装置将光束分成测量光束（3）和参考光束（4b，4c）。 光学覆盖装置和检测器被布置在使得测量光束和从对象（7）部分反射的参考光束中的一个被重叠在检测器的表面上的方向上。 与覆盖装置协同地形成另一个检测器，使得测量光束和另一个参考光束叠加在后一个检测器的表面上。 还包括用于对象的干涉测量的方法的独立权利要求。
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