发明授权
- 专利标题： Vorrichtung und Verfahren zur interferometrischen Vermessung eines Objekts
- 专利标题（英）： Device and method for interferometric measuring of an object
- 专利标题（中）： 的装置和方法的对象的干涉测量
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申请号： EP12188513.1申请日： 2012-10-15
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公开(公告)号： EP2589924B1公开(公告)日： 2016-04-20
- 发明人: Schüssler, Matthias , Rembe, Christian , Dräbenstedt, Alexander , Kowarsch, Robert , Ochs, Wanja
- 申请人： Polytec GmbH
- 申请人地址： Polytec Platz 1-7 76337 Waldbronn DE
- 专利权人： Polytec GmbH
- 当前专利权人： Polytec GmbH
- 当前专利权人地址： Polytec Platz 1-7 76337 Waldbronn DE
- 代理机构： Lemcke, Brommer & Partner Patentanwälte Partnerschaft mbB
- 优先权： DE102011085599 20111102
- 主分类号： G01H9/00
- IPC分类号： G01H9/00
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