- 专利标题： FILLER COMPOSITION FOR SPACE BETWEEN LAYERS OF THREE-DIMENSIONAL INTEGRATED CIRCUIT, COATING FLUID, AND PROCESS FOR PRODUCING THREE-DIMENSIONAL INTEGRATED CIRCUIT
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申请号： EP11834363.1申请日： 2011-10-18
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公开(公告)号： EP2631255B1公开(公告)日： 2020-03-18
- 发明人: IKEMOTO, Makoto , KAWASE, Yasuhiro , MURASE, Tomohide , TAKAHASHI, Makoto , HIRAI, Takayoshi , KAMIMURA, Iho
- 申请人： Mitsubishi Chemical Corporation
- 申请人地址： 1-1, Marunouchi 1-chome Chiyoda-ku Tokyo 100-8251 JP
- 专利权人： Mitsubishi Chemical Corporation
- 当前专利权人： Mitsubishi Chemical Corporation
- 当前专利权人地址： 1-1, Marunouchi 1-chome Chiyoda-ku Tokyo 100-8251 JP
- 代理机构： Hoffmann Eitle
- 优先权： JP2010274544 20101209; JP2010268413 20101201; JP2010268412 20101201; JP2010233799 20101018
- 国际公布： WO2012053524 20120426
- 主分类号： C08G59/14
- IPC分类号： C08G59/14 ; C08G59/20
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