发明公开
EP2639453A1 Ionenquelle
审中-公开
- 专利标题: Ionenquelle
- 专利标题(英): Ion source
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申请号: EP13450011.5申请日: 2013-03-05
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公开(公告)号: EP2639453A1公开(公告)日: 2013-09-18
- 发明人: Buldrini, Nembo , Vasiljevich, Ivanhoe , Genovese, Angelo
- 申请人: FOTEC Forschungs- und Technologietransfer GmbH
- 申请人地址: Viktor Kaplan-Strasse 2 2700 Wiener Neustadt AT
- 专利权人: FOTEC Forschungs- und Technologietransfer GmbH
- 当前专利权人: FOTEC Forschungs- und Technologietransfer GmbH
- 当前专利权人地址: Viktor Kaplan-Strasse 2 2700 Wiener Neustadt AT
- 代理机构: Miksovsky, Alexander
- 优先权: AT3032012 20120313
- 主分类号: F03H1/00
- IPC分类号: F03H1/00 ; H01J27/26
摘要:
Bei einer Ionenquelle mit einer Mehrzahl von einem Transport wenigstens eines Emissionsstoffs dienenden, insbesondere nadelförmigen Elementen (2), welche in einer gemeinsamen Halterung (7) angeordnet sind und an welche eine Spannung anlegbar ist, wobei in Abstand von Austrittsenden der Elemente (2) wenigstens eine Gegenelektrode (4) zur Ausbildung eines elektrischen Felds zwischen den gemeinsam mit der Halterung (7) eine Elektrode bildenden Elementen (2) und der Gegenelektrode (4) für eine Beschleunigung der durch die Elemente (2) emittierten Ionen des Emissionsstoffs vorgesehen ist, ist vorgesehen, dass die Halterung (7) eine die Mehrzahl von nadelförmigen Elementen (2) umgebende, insbesondere ringförmige Erhebung (3) aufweist, an welche die an die Elemente (2) angelegte Spannung angelegt ist, und dass die Gegenelektrode (4) die Halterung (7) sowie die nadelförmigen Elemente (2) in Abstand umgibt und entsprechend der Positionierung derselben mit einer Durchtrittsöffnung (5) ausgebildet ist, welche zumindest der Abmessung (R) der Erhebung (3) der Halterung (7) entspricht. Derart wird von der Mehrzahl von Elementen (2) ein gleichmäßiges bzw. gleichförmiges elektrisches Feld wahrgenommen, um die Ausbringung eines gerichteten Strahls (11) des Emissionsstoffs zu unterstützen.
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