- 专利标题: METHOD FOR LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH OF MONOCRYSTALLINE SILICON CARBIDE
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申请号: EP11851187.2申请日: 2011-06-29
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公开(公告)号: EP2657376B1公开(公告)日: 2019-04-17
- 发明人: TORIMI, Satoshi , NOGAMI, Satoru , MATSUMOTO, Tsuyoshi
- 申请人: Toyo Tanso Co., Ltd.
- 申请人地址: 5-7-12, Takeshima Nishiyodogawa-ku Osaka-shi Osaka 555-0011 JP
- 专利权人: Toyo Tanso Co., Ltd.
- 当前专利权人: Toyo Tanso Co., Ltd.
- 当前专利权人地址: 5-7-12, Takeshima Nishiyodogawa-ku Osaka-shi Osaka 555-0011 JP
- 代理机构: Ter Meer Steinmeister & Partner
- 优先权: JP2010288476 20101224
- 国际公布: WO2012086240 20120628
- 主分类号: C30B29/36
- IPC分类号: C30B29/36 ; C30B19/12 ; C30B28/12
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