- 专利标题： APPARATUS AND METHOD FOR INVESTIGATING AN OBJECT
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申请号： EP12725622.0申请日： 2012-05-25
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公开(公告)号： EP2715767B1公开(公告)日： 2019-05-08
- 发明人: BAUR, Christof , EDINGER, Klaus , HOFMANN, Thorsten , BARALIA, Gabriel , BUDACH, Michael
- 申请人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 申请人地址： Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen DE
- 专利权人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 当前专利权人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 当前专利权人地址： Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen DE
- 代理机构： Wegner, Hans
- 优先权： US201161491713P 20110531
- 国际公布： WO2012163518 20121206
- 主分类号： H01J37/28
- IPC分类号： H01J37/28 ; H01J37/244 ; H01J37/304 ; G01Q10/00
公开/授权文献
- EP2715767A1 APPARATUS AND METHOD FOR INVESTIGATING AN OBJECT 公开/授权日：2014-04-09
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