公开(公告)号：EP2331726B1

公开(公告)日：2017-11-01

申请号：EP09777750.2

申请日：2009-08-07

申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

发明人： AUTH, Nicole ,  SPIES, Petra ,  BECKER, Rainer ,  HOFMANN, Thorsten ,  EDINGER, Klaus

IPC分类号： H01L21/285 ,  C23C16/04 ,  C23C16/48 ,  C23C16/16 ,  H01L21/768

CPC分类号： C23C16/487 ,  C23C16/047 ,  C23C16/16 ,  H01L21/28556 ,  H01L21/76879 ,  H01L21/76892 ,  H01L21/76898

公开(公告)号：EP2715767B1

公开(公告)日：2019-05-08

申请号：EP12725622.0

申请日：2012-05-25

申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

发明人： BAUR, Christof ,  EDINGER, Klaus ,  HOFMANN, Thorsten ,  BARALIA, Gabriel ,  BUDACH, Michael

IPC分类号： H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  H01J37/304 ,  G01Q10/00

公开(公告)号：EP3655819A1

公开(公告)日：2020-05-27

申请号：EP18746856.6

申请日：2018-07-17

申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

发明人： BUDACH, Michael ,  BAUR, Christof ,  EDINGER, Klaus ,  BRET, Tristan

IPC分类号： G03F1/72 ,  G03F1/82