发明公开
EP2764403A4 HYDROGEN PASSIVATION OF NONLINEAR OPTICAL CRYSTALS
审中-公开
WASSERSTOFFPASSIVIERUNG VON NICHTLINEAREN OPTISCHEN KRISTALLEN
- 专利标题： HYDROGEN PASSIVATION OF NONLINEAR OPTICAL CRYSTALS
- 专利标题（中）： WASSERSTOFFPASSIVIERUNG VON NICHTLINEAREN OPTISCHEN KRISTALLEN
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申请号： EP12838919申请日： 2012-10-05
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公开(公告)号： EP2764403A4公开(公告)日： 2015-04-15
- 发明人: CHUANG YUNG-HO , DRIBINSKI VLADIMIR
- 申请人： KLA TENCOR CORP
- 专利权人： KLA TENCOR CORP
- 当前专利权人： KLA TENCOR CORP
- 优先权： US201161544425 2011-10-07
- 主分类号： C30B29/10
- IPC分类号： C30B29/10 ; C30B33/00 ; C30B33/02 ; G01N21/3563 ; G01N21/59 ; G01N21/95
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