- 专利标题： SYSTÈME DE MESURE D'UNE ZONE D'ÉCARTEMENT DANS UN SUBSTRAT
- 专利标题（英）： EP2828635B1 - System for measuring a zone of separation in a substrate
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申请号： EP13715306.0申请日： 2013-03-12
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公开(公告)号： EP2828635B1公开(公告)日： 2018-05-30
- 发明人: MAZEN, Frédéric , RIEUTORD, François , PENOT, Jean-Daniel , MONTMAYEUL, Philippe
- 申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 申请人地址： 25, Rue Leblanc Bâtiment "Le Ponant D" 75015 Paris FR
- 专利权人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人地址： 25, Rue Leblanc Bâtiment "Le Ponant D" 75015 Paris FR
- 代理机构： Delorme, Nicolas
- 优先权： FR1252507 20120321
- 国际公布： WO2013140065 20130926
- 主分类号： G01N3/06
- IPC分类号： G01N3/06 ; G01B11/14
公开/授权文献
- EP2828635A1 SYSTÈME DE MESURE D'UNE ZONE D'ÉCARTEMENT DANS UN SUBSTRAT 公开/授权日：2015-01-28
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