发明公开
- 专利标题： PROCEDE DE REALISATION D' UN CAPTEUR CAPACITIF
- 专利标题（英）： Method for producing a capacitive sensor
- 专利标题（中）： 用于生产电容式传感器
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申请号： EP13724209.5申请日： 2013-05-13
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公开(公告)号： EP2850420A1公开(公告)日： 2015-03-25
- 发明人: GRANGE, Hubert , DANEL, Jean-Sébastien , GAILLARD, Frédéric-Xavier
- 申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 申请人地址： 25, rue Leblanc Bâtiment "Le Ponant D" 75015 Paris FR
- 专利权人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人地址： 25, rue Leblanc Bâtiment "Le Ponant D" 75015 Paris FR
- 代理机构： Brevalex
- 优先权： FR1254464 20120515
- 国际公布： WO2013171144 20131121
- 主分类号： G01N27/22
- IPC分类号： G01N27/22
摘要：
A method for producing a capacitive sensor, comprising steps consisting of: (a) forming trenches (105) in a support (100) made from at least one given material by etching said at least one given material, (b) making said given material porous at the walls and the bottom of the trenches, (c) filling the trenches (105) with a conductive material (110).
公开/授权文献
- EP2850420B1 PROCÉDÉ DE RÉALISATION D'UN CAPTEUR CAPACITIF 公开/授权日：2019-11-06
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