- 专利标题： PRODUCTION METHOD FOR C12A7 ELECTRIDE THIN FILM, AND C12A7 ELECTRIDE THIN FILM
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申请号： EP13806570.1申请日： 2013-06-19
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公开(公告)号： EP2865782B1公开(公告)日： 2021-08-11
- 发明人: HOSONO, Hideo , TODA, Yoshitake , HAYASHI, Katsuro , ITO, Setsuro , WATANABE, Satoru , MIYAKAWA, Naomichi , WATANABE, Toshinari , ITO, Kazuhiro
- 专利权人： Tokyo Institute of Technology,AGC Inc.,Japan Science and Technology Agency
- 当前专利权人： Tokyo Institute of Technology,AGC Inc.,Japan Science and Technology Agency
- 当前专利权人地址： 12-1, Ookayama 2-chome Meguro-ku Tokyo 152-8550 JP; 5-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku Tokyo 100-8405 JP; 4-1-8, Honcho, Kawaguchi-shi, Saitama 332-0012 JP
- 代理机构： Müller-Boré & Partner Patentanwälte PartG mbB
- 优先权： JP2013071154 20130329
- 国际公布： WO2013191210 20131227
- 主分类号： C23C14/08
- IPC分类号： C23C14/08 ; C04B35/00 ; C04B35/10 ; H01L51/50 ; H05B33/02 ; H05B33/26 ; C04B35/44 ; C04B35/626 ; C23C14/34 ; H01B1/08 ; H01L51/52 ; C04B35/64
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