发明公开
EP2867920A1 STRUCTURE D'ACCUEIL POUR CONNECTER ELECTRIQUEMENT UN NANO-OBJET SUR UNE FACE DE CELLE-CI ET EN REPRENDRE LE CONTACT ELECTRIQUE SUR LA FACE OPPOSEE, ET PROCEDES DE FABRICATION DE LA STRUCTURE
有权
RECORD STRUCTURE FOR的纳米点的上的表面制造用结构体电气连接体和电触点再制造具有纳米物体上的相对的表面和方法
- 专利标题： STRUCTURE D'ACCUEIL POUR CONNECTER ELECTRIQUEMENT UN NANO-OBJET SUR UNE FACE DE CELLE-CI ET EN REPRENDRE LE CONTACT ELECTRIQUE SUR LA FACE OPPOSEE, ET PROCEDES DE FABRICATION DE LA STRUCTURE
- 专利标题（英）： Receiving structure for electrically connecting a nano-object on a surface thereof and re- establish electrical contact with the nano-object on the opposite surface, and methods for manufacturing the structure
- 专利标题（中）： RECORD STRUCTURE FOR的纳米点的上的表面制造用结构体电气连接体和电触点再制造具有纳米物体上的相对的表面和方法
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申请号： EP13730901.9申请日： 2013-06-25
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公开(公告)号： EP2867920A1公开(公告)日： 2015-05-06
- 发明人: BAILLIN, Xavier , LEDUC, Patrick
- 申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 申请人地址： Bâtiment le Ponant D 25 rue Leblanc 75015 Paris FR
- 专利权人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人地址： Bâtiment le Ponant D 25 rue Leblanc 75015 Paris FR
- 代理机构： Brevalex
- 优先权： FR1256111 20120627
- 国际公布： WO2014001290 20140103
- 主分类号： H01L21/768
- IPC分类号： H01L21/768 ; B82Y10/00 ; H01L21/84 ; H01L23/498
摘要：
The invention, which is to be used in particular in the field of molecular characterization, involves using a substrate (44) to connect a nano-object (50) on the upper surface thereof and re-establish electrical contact therewith on the lower surface of the substrate. At least two interconnections (52, 54) pass through the substrate. The two surfaces of said substrate include contact establishment areas (56, 58, 60, 62) for the interconnections. According to the invention, at least the areas (56, 58) of the upper surface are doped areas, each having a pattern suitable for forming the associated interconnection on said surface.
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