- 专利标题： Procédé de réalisation d'un substrat comportant un matériau getter disposé sur des parois d'un ou plusieurs trous borgnes formés dans le substrat
- 专利标题（英）： EP2884529B1 - Method for producing a substrate comprising a getter material arranged on the walls of one or more blind holes formed in the substrate
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申请号： EP14195160.8申请日： 2014-11-27
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公开(公告)号： EP2884529B1公开(公告)日： 2018-12-05
- 发明人: Giroud, Sophie , Ferrandon, Christine
- 申请人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 申请人地址： 25, rue Leblanc Bâtiment "le Ponant D" 75015 Paris FR
- 专利权人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人： Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人地址： 25, rue Leblanc Bâtiment "le Ponant D" 75015 Paris FR
- 代理机构： Brevalex
- 优先权： FR1361828 20131129
- 主分类号： H01L23/10
- IPC分类号： H01L23/10 ; H01L23/26 ; H01L23/31 ; C23F1/04 ; H05K3/46 ; B81C1/00
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