发明公开
EP2902397A1 Novel dithiocarbamate niobium organic precursors and their use for vapor phase deposition of niobium containing films
审中-公开
新颖有机二硫代氨基甲酸Niobiumvorläufer以及它们用于薄膜的气相涂层使用niobiumhaltigen
- 专利标题： Novel dithiocarbamate niobium organic precursors and their use for vapor phase deposition of niobium containing films
- 专利标题（中）： 新颖有机二硫代氨基甲酸Niobiumvorläufer以及它们用于薄膜的气相涂层使用niobiumhaltigen
-
申请号： EP14305139.9申请日： 2014-01-31
-
公开(公告)号： EP2902397A1公开(公告)日： 2015-08-05
- 发明人: Correia Anacleto, Antony , Lachaud, Christophe , Pinchart, Audrey , Zauner, Andreas
- 申请人： L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
- 申请人地址： 75, Quai d'Orsay 75007 Paris FR
- 专利权人： L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
- 当前专利权人： L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
- 当前专利权人地址： 75, Quai d'Orsay 75007 Paris FR
- 代理机构： Grout de Beaufort, François-Xavier
- 主分类号： C07F9/00
- IPC分类号： C07F9/00 ; H01L21/00 ; H01L27/00
摘要：
Compounds of formula (I): M(R 1 CS 2 )R 2 R 3 R 4 R 5
R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 are organic ligands being independently selected in H, C1-C4 alkyl group linear or branched, aryl group, silyl group, alkylamine group, alkylsylilamine group.
M is niobium.
R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 are organic ligands being independently selected in H, C1-C4 alkyl group linear or branched, aryl group, silyl group, alkylamine group, alkylsylilamine group.
M is niobium.
信息查询
