发明公开
- 专利标题： TARGET FOR ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION, ELECTRON BEAM-EXCITED ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE, AND PRODUCTION METHOD FOR TARGET FOR ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION
- 专利标题（中）： 目标紫外线生产，通过电子激发紫外光源和方法为紫外线制备目标
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申请号： EP13849168申请日： 2013-09-06
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公开(公告)号： EP2913378A4公开(公告)日： 2016-09-14
- 发明人: HONDA YOSHINORI , TAKETOMI HIROYUKI , FUKUYO FUMITSUGU , KAWAI KOJI , TAKAOKA HIDETSUGU , ICHIKAWA NORIO , SUZUKI TAKASHI
- 申请人： HAMAMATSU PHOTONICS KK
- 专利权人： HAMAMATSU PHOTONICS KK
- 当前专利权人： HAMAMATSU PHOTONICS KK
- 优先权： JP2012233973 2012-10-23
- 主分类号： C09K11/00
- IPC分类号： C09K11/00 ; C09K11/79 ; C09K11/80 ; H01J63/04 ; H01J63/06
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