发明授权
EP2921453B1 Mikromechanische Sensoranordnung und entsprechendes Herstellungsverfahren 有权
微机械传感器装置和生产的相应方法

  • 专利标题: Mikromechanische Sensoranordnung und entsprechendes Herstellungsverfahren
  • 专利标题(英): Micro-mechanical sensor assembly and corresponding production method
  • 专利标题(中): 微机械传感器装置和生产的相应方法
  • 申请号: EP15155700.6
    申请日: 2015-02-19
  • 公开(公告)号: EP2921453B1
    公开(公告)日: 2016-10-05
  • 发明人: Hernandez Guillen, FranciscoHeuck, Friedjof
  • 申请人: ROBERT BOSCH GMBH
  • 申请人地址: Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
  • 专利权人: ROBERT BOSCH GMBH
  • 当前专利权人: ROBERT BOSCH GMBH
  • 当前专利权人地址: Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
  • 优先权: DE102014205178 20140320; DE102014205326 20140321
  • 主分类号: B81B3/00
  • IPC分类号: B81B3/00
Mikromechanische Sensoranordnung und entsprechendes Herstellungsverfahren
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