公开(公告)号：EP2921453A1

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：EP15155700.6

申请日：2015-02-19

申请人： ROBERT BOSCH GMBH

发明人： Hernandez Guillen, Francisco ,  Heuck, Friedjof

IPC分类号： B81B3/00

CPC分类号： B81B3/0021

摘要： Die vorliegende Erfindung schafft eine mikromechanische Sensoranordnung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Sensoranordnung umfasst eine Substratschicht (1), eine über der Substratschicht (1) angeordnete erste Isolationsschicht (2), eine über der ersten Isolationsschicht (2) angeordnete erste einkristalline Funktionsschicht (3), in der ein piezoresistiver Sensorwiderstandsbalken (R) ausgebildet ist, eine über der ersten einkristallinen Funktionsschicht (3) angeordnete zweite Isolationsschicht (4) und eine über der zweiten Isolationsschicht (4) angeordnete zweite einkristalline Funktionsschicht (5), in der ein Feder-Masse-System (S, F, M) ausgebildet ist, welches mechanisch mit dem piezoresistiven Sensorwiderstandsbalken (R) gekoppelt ist.

摘要翻译： 本发明提供了一种微机械传感器装置，和相应的制造方法。 所述的微机械传感器装置包括一衬底层（1），所述基板层的上方设置一（1）第一绝缘层（2），一个第一绝缘层上面（2）布置的第一单晶功能层（3），其中一个压阻传感器阻力杆（R）形成 是，一个第一单晶功能层（3）上方设置的第二绝缘层（4）并用（4）设置在所述第二绝缘层的第二单晶功能层（5），其中，弹簧 - 质量系统（S，F，M）被设计 其被机械地耦合到压阻式传感器电阻光束（R）。

公开(公告)号：EP2921453B1

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：EP15155700.6

申请日：2015-02-19

申请人： ROBERT BOSCH GMBH

发明人： Hernandez Guillen, Francisco ,  Heuck, Friedjof

IPC分类号： B81B3/00

CPC分类号： B81B3/0021

公开(公告)号：EP2927698A1

公开(公告)日：2015-10-07

申请号：EP15158132.9

申请日：2015-03-09

申请人： ROBERT BOSCH GMBH

发明人： Lutz, Theresa ,  Hernandez Guillen, Francisco ,  Heuck, Friedjof ,  Preiss, Elisabeth

IPC分类号： G01P15/08 ,  G01P15/13

CPC分类号： G01P15/0894 ,  G01C19/5656 ,  G01P15/13

摘要： Die Erfindung betrifft eine Messvorrichtung (100) zum Messen einer physikalischen Größe. Die Messvorrichtung (100) umfasst ein Messelement (102), das ein elektrisch leitfähiges Material aufweist, eine Sensiermasse (104), die zumindest teilweise ein elektrisch leitfähiges Material aufweist, wobei die Sensiermasse (104) ausgebildet ist, um ansprechend auf eine Krafteinwirkung relativ zu dem Messelement (102) bewegt zu werden, und eine Auswerteeinheit, die ausgebildet ist, um unter Verwendung eines von einer Position des Messelements (102) gegenüber der Sensiermasse (104) und/oder von einem elektrischen Stromfluss durch das Messelement (102) abhängigen Tunnelstroms (108) eine physikalische Größe der Krafteinwirkung auf die Sensiermasse (104) zu bestimmen.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于测量物理量的测量装置（100）。 的测量装置（100）包括具有导电材料，Sensiermasse（104）至少部分地包括导电材料的测量构件（102），所述Sensiermasse（104）被适配为响应相对于力 测量元件被移动（102），以及使用该Sensiermasse相对的感测元件（102）的位置中的一个，其适于在从属的评估单元（104）和/或通过所述感测元件的电流流动（102）的隧道电流 （108）来确定作用于Sensiermasse（104）的力的物理尺寸。