发明授权
- 专利标题: Mikromechanische Sensoranordnung und entsprechendes Herstellungsverfahren
- 专利标题(英): Micro-mechanical sensor assembly and corresponding production method
- 专利标题(中): 微机械传感器装置和生产的相应方法
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申请号: EP15155700.6申请日: 2015-02-19
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公开(公告)号: EP2921453B1公开(公告)日: 2016-10-05
- 发明人: Hernandez Guillen, Francisco , Heuck, Friedjof
- 申请人: ROBERT BOSCH GMBH
- 申请人地址: Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 专利权人: ROBERT BOSCH GMBH
- 当前专利权人: ROBERT BOSCH GMBH
- 当前专利权人地址: Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart DE
- 优先权: DE102014205178 20140320; DE102014205326 20140321
- 主分类号: B81B3/00
- IPC分类号: B81B3/00
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