发明授权
- 专利标题： MEMS COMPONENT COMPRISING ALN AND SC AND METHOD FOR MANUFACTURING A MEMS COMPONENT
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申请号： EP12818510.5申请日： 2012-12-21
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公开(公告)号： EP2936680B1公开(公告)日： 2020-11-04
- 发明人: MOULARD, Gilles , MURALT, Paul , MATLOUB, Ramin
- 申请人： SnapTrack, Inc.
- 申请人地址： 5775 Morehouse Drive San Diego, CA 92121 US
- 专利权人： SnapTrack, Inc.
- 当前专利权人： SnapTrack, Inc.
- 当前专利权人地址： 5775 Morehouse Drive San Diego, CA 92121 US
- 代理机构： Wegner, Hans
- 国际公布： WO2014094887 20140626
- 主分类号： H03H3/04
- IPC分类号： H03H3/04 ; H03H9/02 ; H03H9/58
公开/授权文献
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