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发明授权
MEMS COMPONENT COMPRISING ALN AND SC AND METHOD FOR MANUFACTURING A MEMS COMPONENT 有权

公开(公告)号：EP2936680B1

公开(公告)日：2020-11-04

申请号：EP12818510.5

申请日：2012-12-21

申请人： SnapTrack, Inc.

发明人： MOULARD, Gilles , MURALT, Paul , MATLOUB, Ramin

IPC分类号： H03H3/04 , H03H9/02 , H03H9/58