发明公开
- 专利标题： DISPOSITIF MICRO-ELECTROMECANIQUE COMPRENANT UNE MASSE MOBILE APTE A SE DEPLACER HORS DU PLAN
- 专利标题（英）： Micro-electromechanical device comprising a mobile mass that can move out-of-plane
- 专利标题（中）： 具有三维运动质量微电子机械装置
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申请号： EP13821889.6申请日： 2013-12-24
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公开(公告)号： EP2938569A1公开(公告)日： 2015-11-04
- 发明人: BOILLOT, François-Xavier , LAOUBI, Rémi , JOURDAN, Guillaume
- 申请人： Tronic's Microsystems , Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 申请人地址： 55, rue du Pré de l'Horme 38920 Crolles FR
- 专利权人： Tronic's Microsystems,Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人： Tronic's Microsystems,Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
- 当前专利权人地址： 55, rue du Pré de l'Horme 38920 Crolles FR
- 代理机构： Cabinet Laurent & Charras
- 优先权： FR1262882 20121227
- 国际公布： WO2014102507 20140703
- 主分类号： B81B3/00
- IPC分类号： B81B3/00 ; G01C19/00 ; G01P15/08
摘要：
The invention relates to a micro-electromechanical device used as a force sensor, comprising a mobile mass connected to at least one securing zone by means of springs or deformable elements, and means for detecting the movement of the mobile mass, the mobile mass having an outer frame and an inner body, the outer frame and the inner body being connected by at least two flexible portions forming integral decoupling springs on two separate sides of the outer frame.
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