发明公开
EP2962337A1 PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D'UNE STRUCTURE MAGNÉTIQUE
审中-公开
VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG EINER MAGNETISCHEN STRUKTUR
- 专利标题: PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D'UNE STRUCTURE MAGNÉTIQUE
- 专利标题(英): Process for treating a magnetic structure
- 专利标题(中): VERFAHREN ZUR BEHANDLUNG EINER MAGNETISCHEN STRUKTUR
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申请号: EP14713168.4申请日: 2014-02-21
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公开(公告)号: EP2962337A1公开(公告)日: 2016-01-06
- 发明人: RAVELOSONA, Dafiné
- 申请人: Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS) , Université Paris Sud (Paris 11)
- 申请人地址: 3, rue Michel-Ange 75794 Paris Cedex 16 FR
- 专利权人: Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS),Université Paris Sud (Paris 11)
- 当前专利权人: Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS),Université Paris Sud (Paris 11)
- 当前专利权人地址: 3, rue Michel-Ange 75794 Paris Cedex 16 FR
- 代理机构: Cabinet Plasseraud
- 优先权: FR1351739 20130227
- 国际公布: WO2014131969 20140904
- 主分类号: H01L43/12
- IPC分类号: H01L43/12 ; C23C18/50 ; H01F41/14
摘要:
Process for treating a magnetic structure, characterised in that it comprises the following steps: providing (S10) a magnetic structure comprising at least one first layer of magnetic material comprising a CoFeB alloy; irradiating (S20) the magnetic structure with light low-energy ions; and simultaneously holding (S30) the magnetic structure with a preset temperature profile and for a preset time.
公开/授权文献
- EP2962337B1 PROCÉDÉ DE TRAITEMENT D'UNE STRUCTURE MAGNÉTIQUE 公开/授权日:2020-12-09
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