- 专利标题： INTEGRATED APERTURED MICROMIRROR AND APPLICATIONS THEREOF
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申请号： EP14725821.4申请日： 2014-03-17
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公开(公告)号： EP2976292B1公开(公告)日： 2020-05-06
- 发明人: SABRY, Yasser, M. , KHALIL, Diaa Abdel, Maged , SADEK, Mohamed
- 申请人： SI-Ware Systems , Sabry, Yasser, M. , Khalil, Diaa Abdel Maged , Sadek, Mohamed
- 申请人地址： 555 California Street San Francisco, CA 94104 US
- 专利权人： SI-Ware Systems,Sabry, Yasser, M.,Khalil, Diaa Abdel Maged,Sadek, Mohamed
- 当前专利权人： SI-Ware Systems,Sabry, Yasser, M.,Khalil, Diaa Abdel Maged,Sadek, Mohamed
- 当前专利权人地址： 555 California Street San Francisco, CA 94104 US
- 代理机构： Cabinet Laurent & Charras
- 优先权： US201361803035P 20130318; US201414210904 20140314
- 国际公布： WO2014153284 20140925
- 主分类号： B81B5/00
- IPC分类号： B81B5/00 ; G02B6/35 ; G02B6/24 ; G02B26/02 ; G02B6/293 ; G02B26/00 ; G02B6/36 ; G01J1/04 ; G02B1/00 ; G01B9/02 ; G02B6/26
公开/授权文献
- EP2976292A1 INTEGRATED APERTURED MICROMIRROR AND APPLICATIONS THEREOF 公开/授权日：2016-01-27
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