发明授权
EP3033306B1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON TITAN-DOTIERTEM KIESELGLAS FÜR DEN EINSATZ IN DER EUV-LITHOGRAPHIE
有权
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON TITAN-DOTIERTEM KIESELGLASFÜRDEN EINSATZ IN DER EUV-LITHOGRAPHIE
- 专利标题： VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON TITAN-DOTIERTEM KIESELGLAS FÜR DEN EINSATZ IN DER EUV-LITHOGRAPHIE
- 专利标题（英）： Method for producing titanium-doped silica glass for use in euv lithography
- 专利标题（中）： VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON TITAN-DOTIERTEM KIESELGLASFÜRDEN EINSATZ IN DER EUV-LITHOGRAPHIE
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申请号： EP14744804.7申请日： 2014-07-22
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公开(公告)号： EP3033306B1公开(公告)日： 2017-06-28
- 发明人: OCHS, Stefan , BECKER, Klaus , THOMAS, Stephan
- 申请人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
- 申请人地址： Quarzstrasse 8 63450 Hanau DE
- 专利权人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
- 当前专利权人： Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG
- 当前专利权人地址： Quarzstrasse 8 63450 Hanau DE
- 代理机构： Staudt, Armin Walter
- 优先权： DE102013108885 20130816
- 国际公布： WO2015022152 20150219
- 主分类号： C03B19/14
- IPC分类号： C03B19/14 ; C03B20/00 ; C03C3/06
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