发明公开
EP3037879A1 AN AGGLUTINANT FOR PELLICLE, A PELLICLE USING IT AND A METHOD FOR EVALUATING PELLICLE
有权
胶水的防护薄膜，薄膜与使用DESSELBIGEN和方法用于评估的防护膜
- 专利标题： AN AGGLUTINANT FOR PELLICLE, A PELLICLE USING IT AND A METHOD FOR EVALUATING PELLICLE
- 专利标题（中）： 胶水的防护薄膜，薄膜与使用DESSELBIGEN和方法用于评估的防护膜
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申请号： EP15003172.2申请日： 2015-11-05
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公开(公告)号： EP3037879A1公开(公告)日： 2016-06-29
- 发明人: Horikoshi, Jun , Yanase, Yu
- 申请人： Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- 申请人地址： 6-1, Ohtemachi 2-chome Chiyoda-ku Tokyo JP
- 专利权人： Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- 当前专利权人： Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.
- 当前专利权人地址： 6-1, Ohtemachi 2-chome Chiyoda-ku Tokyo JP
- 代理机构： Hössle Patentanwälte Partnerschaft
- 优先权： JP2014261591 20141225
- 主分类号： G03F1/64
- IPC分类号： G03F1/64
摘要：
A pellicle is proposed in which the agglutinant layer which enable the pellicle to be adhered to a photomask is doped with a mechanoluminescent material so that the uniformness of the thickness of the agglutinant layer can be confirmed, when the pellicle is adhered to the photomask, by observing visually or by CCD camera for any irregularity in the pattern of the light emitted from the agglutinant layer.
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