发明公开
- 专利标题： EVAKUIERUNG EINER FOLIENKAMMER
- 专利标题（英）： Evacuation of a film chamber
- 专利标题（中）： 疏散胶片室的
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申请号： EP14766464.3申请日： 2014-09-15
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公开(公告)号： EP3049787A2公开(公告)日： 2016-08-03
- 发明人: DECKER, Silvio , DAUENHAUER, Michael , WETZIG, Daniel , HJALMAR, Bruhns
- 申请人： Inficon GmbH
- 申请人地址： Bonner Straße 498 50968 Köln DE
- 专利权人： Inficon GmbH
- 当前专利权人： Inficon GmbH
- 当前专利权人地址： Bonner Straße 498 50968 Köln DE
- 代理机构： dompatent von Kreisler Selting Werner - Partnerschaft von Patent- und Rechtsanwälten mbB
- 优先权： DE102013219464 20130926
- 国际公布： WO2015043993 20150402
- 主分类号： G01M3/22
- IPC分类号： G01M3/22 ; G01M3/20 ; F04B41/06
摘要：
The invention relates to a device (10) for evacuating a film chamber (28) using a pump system that comprises at least two vacuum pumps (20, 22), designed to evacuate the film chamber (28) alternately. In said device the suction capacity of the first vacuum pump (20) is greater than that of the second vacuum pump (22) and the final pressure achievable by the first vacuum pump (20) is less than that of the second vacuum pump (22).
公开/授权文献
- EP3049787B1 EVAKUIERUNG EINER FOLIENKAMMER 公开/授权日：2018-10-24
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