- 专利标题： BEAM SPLITTING APPARATUS, LITHOGAPHIC SYSTEM AND METHOD
-
申请号： EP14777038.2申请日： 2014-09-24
-
公开(公告)号： EP3049870B1公开(公告)日： 2019-05-15
- 发明人: BANINE, Vadim , BARTRAIJ, Petrus , VAN GORKOM, Ramon , AMENT, Lucas , DE JAGER, Pieter , DE VRIES, Gosse , DONKER, Rilpho , ENGELEN, Wouter , FRIJNS, Olav , GRIMMINCK, Leonardus , KATALENIC, Andelko , LOOPSTRA, Erik , NIENHUYS, Han-Kwang , NIKIPELOV, Andrey , RENKENS, Michael , JANSSEN, Franciscus , KRUIZINGA, Borgert
- 申请人： ASML Netherlands B.V.
- 申请人地址： P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven NL
- 专利权人： ASML Netherlands B.V.
- 当前专利权人： ASML Netherlands B.V.
- 当前专利权人地址： P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven NL
- 代理机构： Slenders, Petrus J. W.
- 优先权： US201361882336P 20130925; US201361897046P 20131029; US201361905053P 20131115; EP13199009 20131220; EP14151497 20140116; EP14152443 20140124; EP14155980 20140220; EP14165675 20140423; EP14171051 20140604; EP14171050 20140604; EP14172951 20140618; EP14173446 20140623
- 国际公布： WO2015044182 20150402
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G03F1/84 ; G02B27/00 ; G02B5/18 ; G02B27/10 ; G02B27/12 ; G02B27/14 ; G02B27/42 ; H01S3/09 ; H05H7/04 ; G01N21/956 ; G02B27/09 ; G21K1/06
公开/授权文献
- EP3049870A2 BEAM DELIVERY APPARATUS AND METHOD 公开/授权日：2016-08-03
信息查询
IPC分类:
