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发明授权
EP3108203B1 VEFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR TIEFENBESTIMMUNG EINER OBERFLÄCHE EINES PRÜFOBJEKTES 有权
用于偏转测试对象的表面的方法和设备

  • 专利标题： VEFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR TIEFENBESTIMMUNG EINER OBERFLÄCHE EINES PRÜFOBJEKTES
  • 专利标题（英）： EP3108203B1 - Method and apparatus for measuring depth of a surface of a test object
  • 专利标题（中）： 用于偏转测试对象的表面的方法和设备
  • 申请号： EP15741811.2
    申请日： 2015-03-25
  • 公开(公告)号： EP3108203B1
    公开(公告)日： 2018-02-14
  • 发明人: SCHICK, Anton , RENTSCHLER, Peter
  • 申请人： Siemens Aktiengesellschaft
  • 申请人地址： Werner-von-Siemens-Straße 1 80333 München DE
  • 专利权人： Siemens Aktiengesellschaft
  • 当前专利权人： Siemens Aktiengesellschaft
  • 当前专利权人地址： Werner-von-Siemens-Straße 1 80333 München DE
  • 优先权： DE102014207022 20140411
  • 国际公布： WO2015155000 20151015
  • 主分类号： G01B11/25
  • IPC分类号： G01B11/25
VEFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR TIEFENBESTIMMUNG EINER OBERFLÄCHE EINES PRÜFOBJEKTES
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