- 专利标题： INTEGRATED PACKAGE CONTAINING MEMS ACOUSTIC SENSOR AND ENVIRONMENTAL SENSOR AND METHODOLOGY FOR FABRICATING SAME
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申请号： EP15788858.7申请日： 2015-05-08
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公开(公告)号： EP3140246B1公开(公告)日： 2023-12-13
- 发明人: TSAI, Julius Ming-Lin , CAGDASER, Baris , LIM, Martin , KHENKIN, Aleksey S.
- 专利权人： InvenSense, Inc.
- 当前专利权人： InvenSense, Inc.
- 当前专利权人地址： 1745 Technology Drive Suite 200 San Jose, CA 95110 US
- 代理机构： Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB
- 优先权： US201414273845 20140509
- 国际公布： WO2015172070 20151112
- 主分类号： B81C1/00
- IPC分类号： B81C1/00 ; B81B7/02 ; G01L23/08
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