发明公开
EP3229283A1 DISPOSITIF POUR CONNECTER AU MOINS UN NANO-OBJET ET SON PROCEDE DE REALISATION
审中-公开
用于连接至少一个纳米对象的装置及其制造方法
- 专利标题: DISPOSITIF POUR CONNECTER AU MOINS UN NANO-OBJET ET SON PROCEDE DE REALISATION
- 专利标题(英): EP3229283A1 - Device for connecting at least one nano-object and method for producing same
- 专利标题(中): 用于连接至少一个纳米对象的装置及其制造方法
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申请号: EP17165178.9申请日: 2017-04-06
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公开(公告)号: EP3229283A1公开(公告)日: 2017-10-11
- 发明人: REYNAUD, Patrick , BAILLIN, Xavier , ROLLAND, Emmanuel , THUAIRE, Aurélie
- 申请人: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
- 申请人地址: Bâtiment "Le Ponant D" 25 rue Leblanc 75015 Paris FR
- 专利权人: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
- 当前专利权人: Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
- 当前专利权人地址: Bâtiment "Le Ponant D" 25 rue Leblanc 75015 Paris FR
- 代理机构: Brevalex
- 优先权: FR1653118 20160408
- 主分类号: H01L51/00
- IPC分类号: H01L51/00 ; B82Y10/00 ; B82Y35/00 ; H01L51/05 ; H01L21/768
摘要:
Réalisation d'un dispositif pour connecter au moins un nano-objet à un système électrique externe, comprenant un support doté d'une couche semi-conductrice (4) dans laquelle des premières zones dopées (8a, 8b) espacées entre elles sont agencées, un système électrique externe (SEE) étant apte à être connecté aux premières zones dopées, chaque première zone dopée (8a, 8b) étant en contact avec une deuxième zone dopée (12a, 12b) sur laquelle une portion du nano-objet est apte à être disposée, les deuxièmes zones dopées (12a, 12b) étant espacées entre elles et ayant une épaisseur (e 2 ) inférieure à l'épaisseur (e 1 ) des première zones dopées (figure 1).
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