发明公开
- 专利标题： SPIEGEL-EINRICHTUNG
- 专利标题（英）： Mirror device
- 专利标题（中）： 明镜-EINRICHTUNG
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申请号： EP15813340.5申请日： 2015-12-15
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公开(公告)号： EP3234695A1公开(公告)日： 2017-10-25
- 发明人: SAROV, Yanko , HOLZ, Markus , HAACKER, Fabian , WENGLER, Mark Christof , HAUF, Markus
- 申请人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 申请人地址： Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen DE
- 专利权人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 当前专利权人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 当前专利权人地址： Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen DE
- 代理机构： Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB
- 优先权： DE102014226272 20141217
- 国际公布： WO2016096878 20160623
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G02B5/09
摘要：
The invention relates to a mirror device (29) comprising at least one electrically conductive shielding element (25) which forms means for producing an electric field in an area adjacent to at least one side surface (22) and/or a rear side (21) of a mirror body (35).
公开/授权文献
- EP3234695B1 SPIEGEL-EINRICHTUNG 公开/授权日：2018-10-10
信息查询
IPC分类:
