公开(公告)号：EP4416554A1

公开(公告)日：2024-08-21

申请号：EP22777986.5

申请日：2022-09-21

申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

发明人： BECKER, Moritz ,  SAROV, Yanko ,  DINGER, Udo ,  EHM, Dirk ,  HAACKER, Fabian ,  SCHMIDT, Stefan Wolfgang ,  SCHÖLL, Achim

IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B26/08

CPC分类号： G03F7/7015 ,  G03F7/70983 ,  G02B26/0858 ,  G02B5/0891

公开(公告)号：EP3234695A1

公开(公告)日：2017-10-25

申请号：EP15813340.5

申请日：2015-12-15

申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

发明人： SAROV, Yanko ,  HOLZ, Markus ,  HAACKER, Fabian ,  WENGLER, Mark Christof ,  HAUF, Markus

IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B5/09

CPC分类号： G02B5/09 ,  G02B5/08 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70908

摘要： The invention relates to a mirror device (29) comprising at least one electrically conductive shielding element (25) which forms means for producing an electric field in an area adjacent to at least one side surface (22) and/or a rear side (21) of a mirror body (35).

摘要翻译： 本发明涉及一种包括至少一个导电屏蔽元件（25）的反射镜装置（29），所述导电屏蔽元件形成用于在与至少一个侧表面（22）和/或后侧（21）相邻的区域中产生电场的装置 ）的镜体（35）。

公开(公告)号：EP4416537A1

公开(公告)日：2024-08-21

申请号：EP22793578.0

申请日：2022-10-06

申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

发明人： AMELING, Ralf ,  HAACKER, Fabian ,  HOLZ, Markus ,  EISENMENGER, Johannes

IPC分类号： G02B5/08 ,  G02B26/08 ,  G03F7/20

CPC分类号： G02B26/0858 ,  G02B5/0891 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116

公开(公告)号：EP3234695B1

公开(公告)日：2018-10-10

申请号：EP15813340.5

申请日：2015-12-15

申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

发明人： SAROV, Yanko ,  HOLZ, Markus ,  HAACKER, Fabian ,  WENGLER, Mark Christof ,  HAUF, Markus

IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B5/09

CPC分类号： G02B5/09 ,  G02B5/08 ,  G03F7/70075 ,  G03F7/70116 ,  G03F7/702 ,  G03F7/70908