发明授权
- 专利标题： SPIEGEL-EINRICHTUNG
- 专利标题（英）： EP3234695B1 - Mirror device
-
申请号： EP15813340.5申请日： 2015-12-15
-
公开(公告)号： EP3234695B1公开(公告)日： 2018-10-10
- 发明人: SAROV, Yanko , HOLZ, Markus , HAACKER, Fabian , WENGLER, Mark Christof , HAUF, Markus
- 申请人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 申请人地址： Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen DE
- 专利权人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 当前专利权人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 当前专利权人地址： Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen DE
- 代理机构： Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB
- 优先权： DE102014226272 20141217
- 国际公布： WO2016096878 20160623
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; G02B5/09
公开/授权文献
- EP3234695A1 SPIEGEL-EINRICHTUNG 公开/授权日：2017-10-25
信息查询
IPC分类:
