发明公开
- 专利标题: KRYOTAUGLICHER RESONATOR-SENSOR
- 专利标题(英): EP3306311A1 - Kryo-capable resonator sensor
- 专利标题(中): CRYOTALLY RESONATOR SENSOR
-
申请号: EP17183782.6申请日: 2017-07-28
-
公开(公告)号: EP3306311A1公开(公告)日: 2018-04-11
- 发明人: Lindner, Gerhard , Fairuschin, Viktor , Konopka, Martin
- 申请人: ArianeGroup GmbH
- 申请人地址: Robert-Koch-Straße 1 82024 Taufkirchen DE
- 专利权人: ArianeGroup GmbH
- 当前专利权人: ArianeGroup GmbH
- 当前专利权人地址: Robert-Koch-Straße 1 82024 Taufkirchen DE
- 代理机构: Marschall, Stefan
- 优先权: DE102016118897 20161005
- 主分类号: G01N29/02
- IPC分类号: G01N29/02 ; B06B1/06 ; G01N29/036 ; G01N29/22 ; G01N29/24 ; G01N9/00 ; H01L41/053 ; H01L41/25 ; H03H9/17
摘要:
Ein erfindungsgemäßer Resonator-Sensor (100) dient einer Erfassung einer Gasdichte und/oder einer Gaszusammensetzung insbesondere in einem kryogenen Temperaturbereich. Er umfasst eine Schwingzunge (110) mit mindestens einer in einem Abschnitt darauf aufgebrachten Piezofolie (120a, 120b) sowie eine Einspannvorrichtung zur Halterung der Schwingzunge. Die Einspannvorrichtung umfasst einen Einspannkörper (130) mit einer Ausnehmung (140), in der ein Abschnitt der Schwingzunge eingesetzt und stoffschlüssig mit dem Einspannkörper verbunden ist. Bei 20°C hat der Einspannkörper (130) einen Elastizitätsmodul von mindestens 10 GPa und höchstens 50 GPa. Ein erfindungsgemäßer Tank und eine erfindungsgemäße Vorrichtung (10) umfassen einen erfindungsgemäßen Resonator-Sensor (100). Ein erfindungsgemäßes Verfahren dient einer Bestimmung einer Gasdichte oder einer Gaszusammensetzung und kann insbesondere in einem kryogenen Temperaturbereich angewandt werden.
公开/授权文献
- EP3306311B1 KRYOTAUGLICHER RESONATOR-SENSOR 公开/授权日:2022-04-13
信息查询