KRYOTAUGLICHER RESONATOR-SENSOR
    8.
    发明公开
    KRYOTAUGLICHER RESONATOR-SENSOR 审中-公开
    CRYOTALLY RESONATOR SENSOR

    公开(公告)号:EP3306311A1

    公开(公告)日:2018-04-11

    申请号:EP17183782.6

    申请日:2017-07-28

    申请人: ArianeGroup GmbH

    摘要: Ein erfindungsgemäßer Resonator-Sensor (100) dient einer Erfassung einer Gasdichte und/oder einer Gaszusammensetzung insbesondere in einem kryogenen Temperaturbereich. Er umfasst eine Schwingzunge (110) mit mindestens einer in einem Abschnitt darauf aufgebrachten Piezofolie (120a, 120b) sowie eine Einspannvorrichtung zur Halterung der Schwingzunge. Die Einspannvorrichtung umfasst einen Einspannkörper (130) mit einer Ausnehmung (140), in der ein Abschnitt der Schwingzunge eingesetzt und stoffschlüssig mit dem Einspannkörper verbunden ist. Bei 20°C hat der Einspannkörper (130) einen Elastizitätsmodul von mindestens 10 GPa und höchstens 50 GPa. Ein erfindungsgemäßer Tank und eine erfindungsgemäße Vorrichtung (10) umfassen einen erfindungsgemäßen Resonator-Sensor (100). Ein erfindungsgemäßes Verfahren dient einer Bestimmung einer Gasdichte oder einer Gaszusammensetzung und kann insbesondere in einem kryogenen Temperaturbereich angewandt werden.

    摘要翻译: 根据本发明的谐振器传感器(100)用于检测气体密度和/或气体组成,特别是在低温温度范围内。 它包括振动舌(110),其中在一个部分中施加有至少一个压电薄膜(120a,120b)并且具有用于保持振动舌的夹持装置。 夹紧装置包括具有凹部(140)的夹紧体(130),振动榫舌的一部分以一种材料锁定的方式插入并连接到夹紧体上。 在20℃下,夹持体(130)具有至少10GPa且至多50GPa的弹性模量。 根据本发明的罐和根据本发明的装置(10)包括根据本发明的谐振器传感器(100)。 根据本发明的方法用于确定气体密度或气体组成并且尤其可以在低温温度范围内使用。