- 专利标题： MEMS-WANDLER ZUM INTERAGIEREN MIT EINEM VOLUMENSTROM EINES FLUIDS UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN DESSELBEN
- 专利标题（英）： MEMS TRANSDUCER FOR INTERACTING WITH A VOLUME FLOW OF A FLUID AND METHOD FOR PRODUCING SAME
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申请号： EP16729884.3申请日： 2016-06-14
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公开(公告)号： EP3308555B1公开(公告)日： 2021-07-07
- 发明人: SCHENK, Harald , CONRAD, Holger , GAUDET, Matthieu , SCHIMMANZ, Klaus , LANGA, Sergiu , KAISER, Bert
- 专利权人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- 当前专利权人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- 当前专利权人地址： Hansastraße 27c 80686 München DE
- 代理机构： Schenk, Markus
- 优先权： DE102015210919 20150615
- 国际公布： WO2016202790 20161222
- 主分类号： B81C1/00
- IPC分类号： B81C1/00 ; H04R19/00 ; H04R9/02 ; H04R15/00 ; H04R17/00 ; H04R23/00
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