- 专利标题： OPTICAL PROCESSING APPARATUS, COATING/DEVELOPMENT APPARATUS, OPTICAL PROCESSING METHOD, AND NON-TRANSITORY COMPUTER-READALE STORAGE MEDIUM
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申请号： EP17207286.0申请日： 2017-12-14
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公开(公告)号： EP3346337B1公开(公告)日： 2019-09-04
- 发明人: Nagahara, Seiji , Tomono, Masaru , Fukunaga, Nobutaka , Shiraishi, Gousuke
- 申请人： Tokyo Electron Limited
- 申请人地址： 3-1, Akasaka 5-chome Minato-ku Tokyo 107-6325 JP
- 专利权人： Tokyo Electron Limited
- 当前专利权人： Tokyo Electron Limited
- 当前专利权人地址： 3-1, Akasaka 5-chome Minato-ku Tokyo 107-6325 JP
- 代理机构： Hoffmann Eitle
- 优先权： JP2016246677 20161220
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; H01L21/67
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