- 专利标题： DISPOSITIF ÉLÉMENTAIRE DE PRODUCTION D'UN PLASMA AVEC APPLICATEUR COAXIAL ET INSTALLATION DE PRODUCTION DE PLASMA AVEC CE DISPOSITIF
- 专利标题（英）： ELEMENTARY DEVICE FOR PRODUCING A PLASMA HAVING A COAXIAL APPLICATOR AND PLASMA INSTALLATION WITH THIS DEVICE
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申请号： EP16790660.1申请日： 2016-10-04
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公开(公告)号： EP3360396B1公开(公告)日： 2019-09-11
- 发明人: LATRASSE, Louis , RADOIU, Marilena
- 申请人： Sairem Societe Pour L'application Industrielle De La Recherche En Electronique Et Micro Ondes
- 申请人地址： 12 Porte du Grand Lyon 01700 Neyron FR
- 专利权人： Sairem Societe Pour L'application Industrielle De La Recherche En Electronique Et Micro Ondes
- 当前专利权人： Sairem Societe Pour L'application Industrielle De La Recherche En Electronique Et Micro Ondes
- 当前专利权人地址： 12 Porte du Grand Lyon 01700 Neyron FR
- 代理机构： Chevalier, Renaud Philippe
- 优先权： FR1559459 20151005
- 国际公布： WO2017060612 20170413
- 主分类号： H05H1/46
- IPC分类号： H05H1/46 ; H01J37/32
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