- 专利标题： DUAL-SEALED MEMS PACKAGE WITH CAVITY PRESSURE MONITORING
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申请号： EP16813138.1申请日： 2016-12-09
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公开(公告)号： EP3387381B1公开(公告)日： 2020-01-29
- 发明人: CORONATO, Luca , GAFFORELLI, Giacomo , GIAMBASTIANI, Adolfo
- 申请人： InvenSense, Inc.
- 申请人地址： 1745 Technology Drive Suite 200 San Jose, CA 95110 US
- 专利权人： InvenSense, Inc.
- 当前专利权人： InvenSense, Inc.
- 当前专利权人地址： 1745 Technology Drive Suite 200 San Jose, CA 95110 US
- 代理机构： Pisani, Diana Jean
- 优先权： US201562265913P 20151210; US201615258956 20160907
- 国际公布： WO2017098454 20170615
- 主分类号： G01C19/5769
- IPC分类号： G01C19/5769 ; G01P15/08 ; G01C19/5726 ; B81B7/00
公开/授权文献
- EP3387381A1 DUAL-SEALED MEMS PACKAGE WITH CAVITY PRESSURE MONITORING 公开/授权日：2018-10-17
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