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发明公开
EP3401657A1 PROCEDE DE REALISATION D'UN DETECTEUR BOLOMETRIQUE 审中-公开

PROCEDE DE REALISATION D'UN DETECTEUR BOLOMETRIQUE
摘要：
Procédé de réalisation d'un détecteur (100) bolométrique comprenant :
- réalisation d'un empilement, sur un niveau d'interconnexion (20) d'un circuit de lecture, comprenant une couche sacrificielle disposée entre une couche support (32) et une couche d'arrêt de gravure (29), la couche sacrificielle comprenant un matériau minéral ;
- réalisation d'un via (38) conducteur traversant l'empilement tel qu'il soit en contact avec une portion conductrice (21) dudit niveau d'interconnexion ;
- dépôt d'une couche conductrice sur la couche support et le via ;
- gravure de la couche conductrice et de la couche support, formant une membrane (54) de bolomètre reliée électriquement au via par une portion restante (44) de la couche conductrice qui recouvre une partie supérieure (40) du via ;
- suppression de la couche sacrificielle par une gravure chimique sélective, et telle que la membrane soit suspendue par le via.
摘要（英）：

Process for producing a sensor (100) bolometric comprising:
- producing a stack, on a level of interconnection (20) of a read circuit comprising a sacrificial layer disposed between a support layer (32) and an etch stop layer (29), the sacrificial layer comprising an inorganic material;
- creation of a via (38) conductor passing through the stack such that it is in contact with a conductive portion (21) of said interconnection level;
- depositing a conductive layer onto the backing layer and the via;
- etching of the conductive layer and the backing layer, forming a membrane (54) of bolometer electrically connected to the via by a remaining portion (44) of the conductive layer which covers an upper portion (40) of the via;
- removing the sacrificial layer by selective chemical etching, and such that the membrane is suspended by the via.

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