- 专利标题： WINDOW IN THIN POLISHING PAD
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申请号： EP16891844.9申请日： 2016-02-26
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公开(公告)号： EP3420579B1公开(公告)日： 2022-10-19
- 发明人: HU, Yongqi , NARENDRNATH, Kadthala Ramaya , TERRY, Thomas Lawrence
- 专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人地址： 3050 Bowers Avenue Santa Clara, CA 95054 US
- 代理机构： Zimmermann & Partner Patentanwälte mbB
- 国际公布： WO2017146735 20170831
- 主分类号： B24B37/20
- IPC分类号： B24B37/20 ; B24B37/22
公开/授权文献
- EP3420579A1 WINDOW IN THIN POLISHING PAD 公开/授权日：2019-01-02
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