- 专利标题： PROCESS FOR CREATING PIEZO-ELECTRIC MIRRORS IN PACKAGE
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申请号： EP16897393.1申请日： 2016-04-01
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公开(公告)号： EP3440718A1公开(公告)日： 2019-02-13
- 发明人: OSTER, Sasha N. , EID, Feras , SWAN, Johanna M. , LIFF, Shawna M. , ALEKSOV, Aleksandar , SOUNART, Thomas L. , BICEN, Baris , RAO, Valluri R.
- 申请人： INTEL Corporation
- 申请人地址： 2200 Mission College Blvd. Santa Clara, CA 95054 US
- 专利权人： INTEL Corporation
- 当前专利权人： INTEL Corporation
- 当前专利权人地址： 2200 Mission College Blvd. Santa Clara, CA 95054 US
- 代理机构： 2SPL Patentanwälte PartG mbB
- 国际公布： WO2017171854 20171005
- 主分类号： H01L41/04
- IPC分类号： H01L41/04 ; H01L41/047 ; H01L41/18 ; H01L41/27 ; H01L41/331 ; H01L41/332 ; H01L41/314
公开/授权文献
- EP3440718B1 PROCESS FOR CREATING PIEZO-ELECTRIC MIRRORS IN PACKAGE 公开/授权日：2022-10-05
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