- 专利标题： PROCEDE D'IMPLANTATION D'IONS MONO- OU MULTICHARGES SUR UNE SURFACE D'UN OBJET A TRAITER ET INSTALLATION POUR LA MISE EN OEUVRE DE CE PROCEDE
- 专利标题（英）： METHOD FOR IMPLANTING MULTI-CHARGED IONS ON A SURFACE OF AN OBJECT TO BE TREATED AND INSTALLATION FOR IMPLEMENTING SAID METHOD
-
申请号： EP18723406.7申请日： 2018-04-12
-
公开(公告)号： EP3453045B1公开(公告)日： 2019-07-31
- 发明人: VUILLE, Pierry , COCHAND, Roger , BAZIN, Jean-Luc , MIKO, Csilla , KOOL, Arne
- 申请人： The Swatch Group Research and Development Ltd
- 申请人地址： Rue des Sors 3 2074 Marin CH
- 专利权人： The Swatch Group Research and Development Ltd
- 当前专利权人： The Swatch Group Research and Development Ltd
- 当前专利权人地址： Rue des Sors 3 2074 Marin CH
- 代理机构： ICB SA
- 优先权： EP17166644 20170413
- 国际公布： WO2018188804 20181018
- 主分类号： H01J27/00
- IPC分类号： H01J27/00 ; H01J37/02 ; C23C14/48 ; C03C23/00
公开/授权文献
信息查询
